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逆流---质谱检漏仪

逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。

---气检漏设备主要技术指标

实际使用---气检漏设备时，其较小可检出泄漏率为5×10-13pa·m3 / s； 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内； 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力：1000pa； 电源需要220v，50hz，单相，阀门---检漏价格，10a。

使用---气检漏设备时，请注意其机械泵的抽速为4l / s； 工作环境要求为5-40℃； 应注意相对湿度必须小于或等于80％; 尺寸：600w×550d×1000h; 通常重量将保持在65kg。 关于---气检漏设备，应注意其配备了标准---气检漏装置，包括更详细的校准报告。